原位加熱加電TKD 樣品臺

DENSsolutions TKD 樣品臺可以讓用戶在掃描電子顯微鏡 (SEM) 或聚焦離子束 (FIB) 內進行原位加

熱和/或電學實驗。

該平臺允許 SEM 和 FIB 用戶使用 TKD（同軸/離軸）或傳統 EBSD 技術進行原位微結構表征。 特別

是對于 TEM 用戶，該平臺允許用戶在 SEM 內進行相對快速的初步原位樣品表征，以便為進一步的

TEM 實驗開發工作流程，從而節省寶貴的 TEM 時間。

技術參數：

1.       *電極數：8電極(可同時加熱和加電)

2.       *金屬加熱絲，非陶瓷材料，升溫降溫速度快，即是熱導材料，又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關系。金屬加熱絲是被SiN包裹，不與樣品發生反應。

3.       *溫度范圍：高溫芯片：室溫到1100℃，超高溫芯片：室溫到 1300℃，熱電一體芯片：室溫到 900℃。

4.       *溫度穩定性：加熱到 1300℃時，只有 < 0.01℃的溫度變化

5.       *加熱控制方式：四電極法閉合回路控制和反饋環境溫度

6.       *最高電場：300kV/cm（室溫-900℃）

7.       *最高工作電壓： 150V（室溫-900℃）

8.       最小的檢測電流：pA范圍

9.      溫度精確度：≥95%

10.    溫度均勻度：≥99.5%

兼容性：

SEM/FIB 設備探測器

• Zeiss Ultra and Gemini

• FEI (TF)* Nove NanoSem 600

(ESEM) & Helios G4 plasma FIB

• JEOL 4600

*可能需要樣品臺適配器

探測器

• Bruker Optimus On-axis TKD探測器

• Oxford Symmetry EBSD探測器